Οι αισθητήρες πίεσης χρησιμοποιούνται για τη μέτρηση της πίεσης υγρών και αερίων. Οι συνηθισμένοι τύποι περιλαμβάνουν πιεζοαντιστικούς αισθητήρες πίεσης πυριτίου MEMS, αισθητήρες πίεσης συντονισμού πυριτίου MEMS, κεραμικούς χωρητικούς αισθητήρες πίεσης, μεταλλικούς χωρητικούς αισθητήρες πίεσης, αισθητήρες πίεσης λεπτής μεμβράνης με διασκορπισμό- και αισθητήρες πίεσης μετρητή καταπόνησης μετάλλου. Τα σενάρια λειτουργίας τους ποικίλλουν ανάλογα με την αρχή λειτουργίας.
Αισθητήρας πιεζοαντιστατικής πίεσης MEMS πυριτίου:Αυτός είναι ο πιο ευρέως χρησιμοποιούμενος τύπος αισθητήρα πίεσης. Το κύριο εύρος μέτρησής του καλύπτει 15 kPa έως 100 MPa, με τυπική ακρίβεια που κυμαίνεται από 0,05% FS έως 3% FS. Το εύρος θερμοκρασίας λειτουργίας είναι συνήθως -55 μοίρες έως 180 μοίρες . Επειδή είναι συμβατό με{11}}διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας, είναι φθηνό. Για τη μέτρηση του υγρού, απαιτείται μονωτική συσκευασία γεμάτη λάδι.
Αισθητήρας πίεσης συντονισμού πυριτίου MEMS: Αυτός ο αισθητήρας χρησιμοποιεί έναν έξυπνο σχεδιασμό που μετατρέπει την πίεση σε αλλαγή στη συχνότητα συντονισμού μιας μικρο-δέσμης. Επειδή η συχνότητα της δέσμης εξαρτάται μόνο από τη δομή και τη θερμοκρασία της και επωφελείται από τα εφέ φιλτραρίσματος, αυτός ο αισθητήρας επιτυγχάνει υψηλή ακρίβεια εξόδου έως και 0,01% FS. Το κύριο εύρος μέτρησης πίεσης καλύπτει 100 kPa έως 40 MPa, με εύρος θερμοκρασίας λειτουργίας από -55 έως 85 βαθμούς. Λόγω της πολύπλοκης κατασκευής και του υψηλού κόστους, είναι κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια, όπως επεξεργασία ημιαγωγών και μέτρηση βάθους ωκεανού.
Κεραμικός χωρητικός αισθητήρας πίεσης:Το κεραμικό υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στη φθορά, καθιστώντας αυτόν τον αισθητήρα κατάλληλο για τη μέτρηση της πίεσης σε μείγματα πολτού άμμου. Παρέχει επίσης καλή αντοχή στη διάβρωση, επιτρέποντας τη μέτρηση διαβρωτικών υγρών όπως το θειικό οξύ. Επιπλέον, οι αισθητήρες πίεσης με βάση τα κεραμικά μπορούν να αντέξουν το πάγωμα του νερού-μια δυνατότητα που δεν μπορεί να επιτευχθεί με τους αισθητήρες MEMS.
Μεταλλικός χωρητικός αισθητήρας πίεσης:Αυτός ο αισθητήρας χρησιμοποιεί ένα μεταλλικό διάφραγμα ως ευαίσθητο στην πίεση κινητό ηλεκτρόδιο, που σχηματίζει έναν πυκνωτή με ένα σταθερό ηλεκτρόδιο. Όταν η πίεση δρα στο διάφραγμα, η χωρητικότητα μεταξύ των ηλεκτροδίων αλλάζει, δημιουργώντας μια σχέση πίεσης-χωρητικότητας. Τα μεταλλικά διαφράγματα μπορούν να κατασκευαστούν από ανθεκτικά στη διάβρωση υλικά όπως το Inconel και μπορούν να μετρήσουν πολύ χαμηλές πιέσεις (0–1/10/100/1000 Torr). Κατά συνέπεια, έχει ευρείες εφαρμογές στη μέτρηση κενού και στη μέτρηση ειδικών αερίων στη βιομηχανία ημιαγωγών.
ΣκεπασμένοςThin-ταινίαΑισθητήρας πίεσης & Αισθητήρας πίεσης μανόμετρο μετάλλου:Και οι δύο αισθητήρες διαθέτουν ένα ευαίσθητο υλικό{0}}με επικάλυψη σε μια μεγάλη μεταλλική επιφάνεια, καθιστώντας το προϊόν στιβαρό και ανθεκτικό. Είναι κατάλληλα για περιοχές υψηλής πίεσης και εφαρμογές που απαιτούν υψηλή αξιοπιστία, όπως κίτρινα προϊόντα, κινητήρες ντίζελ και μηχανές διάνοιξης σήραγγας. Αυτοί οι αισθητήρες δεν είναι εύκολο να κατασκευαστούν σε αισθητήρα απόλυτης πίεσης και συνήθως μπορούν να καλύψουν μέγιστες περιοχές έως 200 MPa ή υψηλότερες. Η πρώτη εικόνα παραπάνω δείχνει έναν διασκορπισμένο λεπτό-πυρήνα αισθητήρα φιλμ, ενώ η δεύτερη εικόνα δείχνει έναν μεταλλικό πυρήνα μετρητή τάσης.
Η επιλογή ενός αισθητήρα πίεσης πρέπει να βασίζεται στις πραγματικές συνθήκες λειτουργίας για να αξιοποιήσει πλήρως την απόδοσή του. Η Mihui Technology ειδικεύεται στους αισθητήρες πίεσης που βασίζονται σε διάφορες αρχές, προσφέροντας ολοκληρωμένες δυνατότητες σχεδιασμού, παραγωγής και κατασκευής για να παρέχει στους πελάτες τις πιο κατάλληλες λύσεις. Καλώς ήρθατε να επικοινωνήσετε μαζί μας εάν ενδιαφέρεστε:Αριθμός τηλεφώνου: +8618066965135; Διεύθυνση ηλεκτρονικού ταχυδρομείου: mihuitec@gmail.com
