Με βάση τις αρχές λειτουργίας τους, οι αισθητήρες πίεσης μπορούν να κατηγοριοποιηθούν σε διάφορους τύπους, συμπεριλαμβανομένων των τύπων κεραμικών χωρητικών, μεταλλικών χωρητικών, λεπτών-μετρητών καταπόνησης μεμβράνης, μετρητών καταπόνησης, πιεζοαντιστατικών πυριτίου, χωρητικών πυριτίου και τύπων συντονισμού πυριτίου. Μεταξύ αυτών, οι αισθητήρες πίεσης συντονισμού προσφέρουν την υψηλότερη ακρίβεια, επιτυγχάνοντας ακρίβεια έως και 0,01% FS σε όλο το εύρος θερμοκρασίας (-40 μοίρες έως 85 μοίρες ). Λόγω της εξαιρετικής τους ακρίβειας, χρησιμοποιούνται ευρέως σε εφαρμογές που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια πίεσης, όπως μέτρηση βάθους ωκεανού, πρότυπα αναφοράς πίεσης, μέτρηση παραμέτρων πτήσης αεροσκάφους και μετεωρολογική παρακολούθηση. Οι λόγοι για τους οποίους οι αισθητήρες πίεσης συντονισμού πυριτίου επιτυγχάνουν τέτοια μέτρηση πίεσης υψηλής ακρίβειας είναι οι εξής:
1. Η δομή του πυρήνα ενός αισθητήρα πίεσης συντονισμού πυριτίου είναι ένας συμμετρικός-συντονιστής πυριτίου με διπλή σύσφιξη. Η συχνότητα συντονισμού του συντονιστή αλλάζει με την εφαρμοζόμενη πίεση. Καθώς η συχνότητα είναι μια εγγενής ιδιότητα των στερεών, είναι λιγότερο ευαίσθητη σε θόρυβο-χαμηλής συχνότητας και παρουσιάζει ελάχιστη διακύμανση με τη θερμοκρασία. Αυτό το φυσικό αποτέλεσμα φιλτραρίσματος έχει ως αποτέλεσμα υψηλό λόγο σήματος-προς-θόρυβο.
2. Η δομή του αντηχείου με διπλή-σύσφιξη διασφαλίζει ότι όταν το αντηχείο δονείται, η καθαρή εξωτερική δύναμη είναι μηδέν. Επιπλέον, λόγω της χρήσης της τεχνολογίας ανοδικής συγκόλλησης MEMS, ολόκληρος ο συντονιστής λειτουργεί σε περιβάλλον κενού, επιτυγχάνοντας υψηλό παράγοντα ποιότητας.
3. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας σχεδιασμού, οι δομές ανακούφισης{1}}του τάσεων ενσωματώνονται στις θερμικά ευαίσθητες περιοχές του συντονιστή για την ελαχιστοποίηση της θερμικής καταπόνησης. Αυτό μειώνει σημαντικά τη θερμική καταπόνηση στο αντηχείο.
Τα προϊόντα αισθητήρα πίεσης συντονισμού πυριτίου της Xi'an Mihui Technology επιτυγχάνουν μέτρηση πίεσης υψηλής-ακρίβειας με ακρίβεια 0,01% FS σε όλο το εύρος θερμοκρασίας. Προσφέρουν απαράμιλλη ετήσια σταθερότητα 0,01% FS και υποστηρίζουν τόσο την έξοδο συχνότητας όσο και την ψηφιακή έξοδο RS485. Αυτοί οι αισθητήρες καλύπτουν μετρήσεις απόλυτης πίεσης από 100 kPa έως 1 MPa. Οι προδιαγραφές έχουν ως εξής:
Οι ενδιαφερόμενοι είναι ευπρόσδεκτοι να επικοινωνήσουν μαζί μας μέσω των πληροφοριών που παρέχονται στον ιστότοπό μας.
